Научно-исследовательские институты НИИТМ и НИИМЭ, входящие в группу компаний «Элемент», приступили к созданию первой в России кластерной установки из восьми модулей для нанесения алюминиевой металлизации методом вакуумного напыления. Оборудование предназначено для выпуска интегральных микросхем по нормам 180÷90 нм на пластинах диаметром 200 мм. Об этом рассказали в пресс-службе ГК «Элемент».
Проект реализуется в рамках программы «Развитие электронного машиностроения до 2030 года» при поддержке Минпромторга России. Завершение работ запланировано на сентябрь 2030 года.
Как пояснили разработчики, ключевое преимущество установки – конфигурация транспортной системы с двумя распределительными модулями и буферной камерой, обеспечивающая высокий уровень вакуума и качество пленок. В состав комплекса также войдут два робота-манипулятора, повышающие производительность. Модульный принцип позволяет менять конфигурацию или модернизировать оборудование для новых задач. Дублирование модулей обеспечит бесперебойную работу даже во время техобслуживания.
Специалисты НИИТМ займутся разработкой конструкторской документации, созданием макетов и проведением испытаний. Ученые НИИМЭ сформулируют технические требования и проведут технологические тесты. По словам генерального директора НИИМЭ Александра Кравцова, новая установка будет востребована предприятиями России и за рубежом. Генеральный директор НИИТМ Михаил Бирюков подчеркнул:
Создание отечественной кластерной установки для магнетронного нанесения слоев алюминиевой металлизации, отвечающей текущим стандартам индустрии, станет важной составляющей развития микроэлектроники в России. Разработка кластерного оборудования с восемью технологическими модулями – это новый вызов, который требует решения ряда комплексных научно-технических задач.
-
Китай впервые запустил новую мощную ракету Kinetica-2, она сходу вывела на орбиту 3 спутника
30.03.2026 15:01:00 | iXBT.com
Все российские АЭС перешли на свою систему контроля: импортозамещение завершено
30.03.2026 14:49:00 | iXBT.com
Все российские АЭС перешли на отечественную систему контроля: импортозамещение завершено
30.03.2026 14:49:00 | iXBT.com
Американская лазерная система LOCUST X3 уничтожает дроны лучами по $5 за выстрел
30.03.2026 14:48:06 | TechCult.ru
SpaceX за раз запустила 119 спутников из 23 стран мира в рамках миссии Transporter-16, первая ступень отработала 12 раз
30.03.2026 14:42:00 | iXBT.com
Фото со знаменитостью или примерка одежды: «Алиса AI» Яндекса научилась объединять фотографии
30.03.2026 14:29:00 | iXBT.com
Xiaomi «отключает» популярные смартфоны: обновлений больше не будет для Redmi K60 и K60E
30.03.2026 14:09:00 | iXBT.com
Samsung планирует внедрить «техпроцесс мечты» к 2030 году: 1-нанометровая литография Samsung использует новую архитектуру
30.03.2026 13:55:00 | iXBT.com
Претендент на звание лучшего камерофона 2026 года. Комплект поставки Vivo X300 Ultra с набором для любителей мобильного фото показали вживую
30.03.2026 13:53:00 | iXBT.com
Samsung попробует исправить проблемы с экранами Galaxy S26, S26 Plus и S26 Ultra с помощью обновлений
30.03.2026 13:29:00 | iXBT.com
Плазма летит прямо к Земле: Новые данные с коронографа показали прямое направление выброса, ожидается сильная магнитная буря
30.03.2026 13:23:00 | iXBT.com
GeForce RTX 6090 получит столько же памяти, ядер CUDA и такую же шину, как и RTX 5090? Появились первые утечки о параметрах новой линейки видеокарт
30.03.2026 13:18:00 | iXBT.com
До 1 апреля ещё 2 дня: в Rutube разрабатывают диагональный контент для просмотра роликов лёжа
30.03.2026 13:14:00 | iXBT.com
Oppo Find N6 может похвастаться не только почти невидимой складкой на экране, но и рекордной автономностью в классе
30.03.2026 13:05:00 | iXBT.com
Прибыль падает, продажи буксуют, худшие показатели за много лет: Крупнейший производитель электромобилей Китая BYD столкнулся с серьёзным спадом
30.03.2026 12:59:00 | iXBT.com
Прибыль падает, продажи буксуют, худшие показатели за много лет. Крупнейший производитель электромобилей Китая BYD столкнулся с серьёзным спадом
30.03.2026 12:59:00 | iXBT.com
Samsung придумала, как догнать TSMC: корейская компания начнет производство совершенно новых чипов уже в 2028 году
30.03.2026 12:56:00 | iXBT.com
Всего 4/64 ГБ памяти в базе. Бюджетный Realme Narzo 100 Lite готовится к выходу
30.03.2026 12:48:00 | iXBT.com
BYD вышла на рынок гаджетов: представлен внешний аккумулятор с беспроводной зарядкой за копейки
30.03.2026 12:45:00 | iXBT.com
Средство массового уничтожения Ryzen 7 9800X3D: одна материнская плата ASRock «убила» уже три Ryzen 7 9800X3D
30.03.2026 12:43:00 | iXBT.com
Центры обработки данных решили размещать под железнодорожными эстакадами. В Японии запускают первый подобный проект
30.03.2026 12:31:00 | iXBT.com
Научные тесты подтверждают: разницы между аудиокабелем за 7 долларов и за 4250 долларов нет. Автор канала Audio Science Review это доказал
30.03.2026 12:28:00 | iXBT.com
Telegram устроил масштабную зачистку: с начала 2026 года удалено 11 млн каналов
30.03.2026 12:26:00 | iXBT.com
Более 2000 экспонатов, и всё связано с Apple. Музей Миммса готовится открыть выставку iNSPIRE: 50 Years of Innovation from Apple exhibition
30.03.2026 12:01:00 | iXBT.com
«МегаФон» запустил 5G — с возможностью компенсации стоимости мобильного интернета , если услуги недоступны
30.03.2026 12:00:00 | iXBT.com
В Британии успешно протестировали первую в мире систему квантовой навигации
30.03.2026 11:53:51 | TechCult.ru
15-лет назад AMD выпустила двухчиповое чудовище за 700 долларов. Radeon HD 6990 была самой быстрой видеокартой в своём поколении
30.03.2026 11:53:00 | iXBT.com
Новая мощная вспышка на Солнце может повлиять на старт лунного корабля NASA
30.03.2026 11:43:45 | Ведомости
Гонка ИИ в разгаре: Xiaomi вкладывает миллиарды и набирает армию специалистов
30.03.2026 11:40:00 | iXBT.com
«Определенно намного лучше, чем в последних играх на Unreal Engine 5». Death Stranding 2: On the Beach на ПК отлично работает даже на довольно слабых ПК
30.03.2026 11:39:00 | iXBT.com
-
День 1522: продажи тяжёлых грузовиков в январе-марте упали на 30% год к году
26.04.2026 12:28:24 | vc.ru
Применение платы Arduino Due для измерения параметров вибрации при балансировке роторов
26.04.2026 09:53:16 | Хабр
Одна причина, по которой Мелания Трамп так и не развелась с мужем, но много раз хотела
26.04.2026 09:29:52 | Woman.ru
Ученые снизили содержание вредного вещества в пшенице на 93%: урожайность при этом не пострадала — читать на Gastronom.ru
26.04.2026 09:00:00 | ГАСТРОНОМЪ
Ягнятина: калорийность, описание продукта, как выбирать, как готовить, БЖУ, читайте на Gastronom.ru
26.04.2026 09:00:00 | ГАСТРОНОМЪ
В Сети обсуждают тайную помолвку 16-летней Пересильд и Дмитриенко — и вот почему
26.04.2026 08:54:57 | Woman.ru
«Ты меня любишь, лепишь, творишь, малюешь»: как выглядят жены заокеанских пластических хирургов
26.04.2026 08:45:00 | Woman.ru
DDoS снова «переобулся»: как изменился ландшафт угроз в I квартале 2026 года
26.04.2026 08:31:38 | Хабр
Как быстро похудеть на 10 кг: 10 советов, которые не работают по отдельности
26.04.2026 08:30:00 | Woman.ru
Как считать экономику заявки в контекстной рекламе: от CPL до реальной прибыли
26.04.2026 08:18:35 | Хабр
Развелась с мужем и учит женщин искать красоту в себе: как живет самая закрытая участница группы «ВИА Гра»
26.04.2026 08:15:37 | Woman.ru
Кислород из лунного грунта и новая космическая гонка: кто собрался строить инфраструктуру на Луне
26.04.2026 08:00:33 | Хабр
Топ-5 маринадов для курицы гриль в домашних условиях, вкуснее магазинных — читать на Gastronom.ru
26.04.2026 08:00:00 | ГАСТРОНОМЪ
Домашний творог из молока в духовке, пошаговый рецепт с фото на 295 ккал
26.04.2026 08:00:00 | ГАСТРОНОМЪ
Как я пришёл в аналитику, устроился в бигтех и понял, что только на рабочих задачах у меня не получится расти
26.04.2026 06:56:47 | Хабр
Проектируем сервис HTTP-запросов: Kafka, PostgreSQL, Redis-очередь и миллионы логических партиций
26.04.2026 06:30:45 | Хабр
Третье покушение на Трампа за два года — в этом же отеле стреляли в Рейгана
26.04.2026 06:28:47 | Woman.ru
Техническая поддержка проекта ВсеТут