![](/_adm/_options/_gl/img/_logo_rss/ixbt.png)
Работники Национального исследовательского университета «МЭИ» создали новый источник излучения для EUV-литографии — с повышенным КПД относительно нынешних разработок. Для этого ученые добавили литий в гелиевый плазменный заряд. Новый источник позволит выпускать интегральные схемы по более тонкому техпроцессу и с большим быстродействием. Пока разработка находится на стадии прототипа, но в конечном итоге такой источник планируется применять в российских литографах.
![](https://www.ixbt.com/img//x780/n1/news/2024/10/6/photo_2024-11-30_18-22-58_large.jpg)
«В МЭИ разработали экспериментальный образец источника излучения в экстремальном ультрафиолете. Эксперименты с добавлением лития в гелиевый плазменный разряд показали возможность создания стационарного источника, востребованного технологией ЭУФ-литографии, которая применяется в микроэлектронике для уменьшения характерных размеров элементов схем, в результате чего увеличивается их быстродействие и уменьшается размер изделия», — рассказали в вузе.
-
30.11.2024 17:54:00 | iXBT.com
30.11.2024 17:39:00 | iXBT.com
30.11.2024 17:25:00 | iXBT.com
30.11.2024 17:11:00 | iXBT.com
30.11.2024 17:05:00 | iXBT.com
30.11.2024 16:26:00 | iXBT.com
30.11.2024 16:23:00 | iXBT.com
30.11.2024 16:05:00 | iXBT.com
30.11.2024 14:20:00 | iXBT.com
30.11.2024 13:47:00 | iXBT.com
30.11.2024 10:55:01 | TechCult.ru
30.11.2024 10:03:00 | iXBT.com
30.11.2024 07:29:00 | iXBT.com
30.11.2024 07:22:00 | iXBT.com
30.11.2024 00:53:00 | iXBT.com
30.11.2024 00:16:00 | iXBT.com
29.11.2024 23:20:00 | iXBT.com
29.11.2024 23:19:00 | iXBT.com
29.11.2024 23:01:00 | iXBT.com
29.11.2024 22:32:00 | iXBT.com
29.11.2024 22:19:43 | Ведомости
29.11.2024 22:12:00 | iXBT.com
29.11.2024 21:01:00 | iXBT.com
29.11.2024 20:32:00 | iXBT.com
29.11.2024 19:34:00 | iXBT.com
29.11.2024 19:00:09 | Ведомости
29.11.2024 18:30:00 | iXBT.com
29.11.2024 15:04:38 | Ведомости
29.11.2024 15:01:00 | iXBT.com
-
06.02.2025 13:30:00 | ferra.ru
06.02.2025 12:43:20 | ferra.ru
06.02.2025 12:09:54 | vc.ru
06.02.2025 12:07:41 | it-world
06.02.2025 11:30:07 | ferra.ru
06.02.2025 11:00:22 | Хабр
06.02.2025 10:51:45 | Хабр
06.02.2025 10:43:30 | Хабр
06.02.2025 10:36:17 | vc.ru
06.02.2025 10:30:43 | ferra.ru
06.02.2025 10:08:32 | vc.ru
06.02.2025 10:00:18 | Хабр
06.02.2025 09:59:33 | vc.ru
06.02.2025 09:27:27 | Хабр
Техническая поддержка проекта ВсеТут