
Работники Национального исследовательского университета «МЭИ» создали новый источник излучения для EUV-литографии — с повышенным КПД относительно нынешних разработок. Для этого ученые добавили литий в гелиевый плазменный заряд. Новый источник позволит выпускать интегральные схемы по более тонкому техпроцессу и с большим быстродействием. Пока разработка находится на стадии прототипа, но в конечном итоге такой источник планируется применять в российских литографах.

«В МЭИ разработали экспериментальный образец источника излучения в экстремальном ультрафиолете. Эксперименты с добавлением лития в гелиевый плазменный разряд показали возможность создания стационарного источника, востребованного технологией ЭУФ-литографии, которая применяется в микроэлектронике для уменьшения характерных размеров элементов схем, в результате чего увеличивается их быстродействие и уменьшается размер изделия», — рассказали в вузе.
-
30.11.2024 17:54:00 | iXBT.com
30.11.2024 17:39:00 | iXBT.com
30.11.2024 17:25:00 | iXBT.com
30.11.2024 17:11:00 | iXBT.com
30.11.2024 17:05:00 | iXBT.com
30.11.2024 16:26:00 | iXBT.com
30.11.2024 16:23:00 | iXBT.com
30.11.2024 16:05:00 | iXBT.com
30.11.2024 14:20:00 | iXBT.com
30.11.2024 13:47:00 | iXBT.com
30.11.2024 10:55:01 | TechCult.ru
30.11.2024 10:03:00 | iXBT.com
30.11.2024 07:29:00 | iXBT.com
30.11.2024 07:22:00 | iXBT.com
30.11.2024 00:53:00 | iXBT.com
30.11.2024 00:16:00 | iXBT.com
29.11.2024 23:20:00 | iXBT.com
29.11.2024 23:19:00 | iXBT.com
29.11.2024 23:01:00 | iXBT.com
29.11.2024 22:32:00 | iXBT.com
29.11.2024 22:19:43 | Ведомости
29.11.2024 22:12:00 | iXBT.com
29.11.2024 21:01:00 | iXBT.com
29.11.2024 20:32:00 | iXBT.com
29.11.2024 19:34:00 | iXBT.com
29.11.2024 19:00:09 | Ведомости
29.11.2024 18:30:00 | iXBT.com
29.11.2024 15:04:38 | Ведомости
29.11.2024 15:01:00 | iXBT.com
-
27.06.2025 13:56:20 | ferra.ru
27.06.2025 13:42:17 | ferra.ru
27.06.2025 13:38:45 | vc.ru
27.06.2025 13:35:17 | ferra.ru
27.06.2025 13:28:17 | ferra.ru
27.06.2025 13:14:16 | ferra.ru
27.06.2025 12:30:56 | КИНО-ТЕАТР.РУ
27.06.2025 11:45:57 | КИНО-ТЕАТР.РУ
27.06.2025 11:27:04 | vc.ru
27.06.2025 11:15:26 | ferra.ru
27.06.2025 10:58:27 | Хабр
27.06.2025 10:50:43 | Хабр
27.06.2025 10:48:30 | vc.ru
27.06.2025 10:48:30 | vc.ru
27.06.2025 10:45:00 | Woman.ru
27.06.2025 10:30:26 | ferra.ru
27.06.2025 10:16:49 | Хабр
Техническая поддержка проекта ВсеТут