
Работники Национального исследовательского университета «МЭИ» создали новый источник излучения для EUV-литографии — с повышенным КПД относительно нынешних разработок. Для этого ученые добавили литий в гелиевый плазменный заряд. Новый источник позволит выпускать интегральные схемы по более тонкому техпроцессу и с большим быстродействием. Пока разработка находится на стадии прототипа, но в конечном итоге такой источник планируется применять в российских литографах.

«В МЭИ разработали экспериментальный образец источника излучения в экстремальном ультрафиолете. Эксперименты с добавлением лития в гелиевый плазменный разряд показали возможность создания стационарного источника, востребованного технологией ЭУФ-литографии, которая применяется в микроэлектронике для уменьшения характерных размеров элементов схем, в результате чего увеличивается их быстродействие и уменьшается размер изделия», — рассказали в вузе.
-
30.11.2024 17:54:00 | iXBT.com
30.11.2024 17:39:00 | iXBT.com
30.11.2024 17:25:00 | iXBT.com
30.11.2024 17:11:00 | iXBT.com
30.11.2024 17:05:00 | iXBT.com
30.11.2024 16:26:00 | iXBT.com
30.11.2024 16:23:00 | iXBT.com
30.11.2024 16:05:00 | iXBT.com
30.11.2024 14:20:00 | iXBT.com
30.11.2024 13:47:00 | iXBT.com
30.11.2024 10:55:01 | TechCult.ru
30.11.2024 10:03:00 | iXBT.com
30.11.2024 07:29:00 | iXBT.com
30.11.2024 07:22:00 | iXBT.com
30.11.2024 00:53:00 | iXBT.com
30.11.2024 00:16:00 | iXBT.com
29.11.2024 23:20:00 | iXBT.com
29.11.2024 23:19:00 | iXBT.com
29.11.2024 23:01:00 | iXBT.com
29.11.2024 22:32:00 | iXBT.com
29.11.2024 22:19:43 | Ведомости
29.11.2024 22:12:00 | iXBT.com
29.11.2024 21:01:00 | iXBT.com
29.11.2024 20:32:00 | iXBT.com
29.11.2024 19:34:00 | iXBT.com
29.11.2024 19:00:09 | Ведомости
29.11.2024 18:30:00 | iXBT.com
29.11.2024 15:04:38 | Ведомости
29.11.2024 15:01:00 | iXBT.com
-
07.05.2025 04:30:07 | ferra.ru
07.05.2025 02:15:24 | ferra.ru
07.05.2025 01:30:46 | ferra.ru
07.05.2025 00:45:29 | ferra.ru
07.05.2025 00:00:26 | ferra.ru
06.05.2025 23:20:16 | ferra.ru
06.05.2025 23:18:44 | ferra.ru
06.05.2025 23:15:03 | ferra.ru
06.05.2025 23:05:01 | ferra.ru
06.05.2025 22:31:42 | it-world
06.05.2025 21:58:32 | ferra.ru
06.05.2025 21:45:27 | ferra.ru
06.05.2025 21:15:28 | ferra.ru
06.05.2025 21:03:37 | ferra.ru
06.05.2025 20:47:57 | ferra.ru
06.05.2025 20:28:51 | ferra.ru
06.05.2025 19:52:30 | Хабр
06.05.2025 19:38:31 | vc.ru
Техническая поддержка проекта ВсеТут