![](/_adm/_options/_gl/img/_logo_rss/techcult.png)
02.12.2024 09:10:11
| TechCult.ru
Ученые из российского университета МЭИ объявили о создании нового источника излучения, предназначенного для применения в оборудовании EUV-литографии. В сравнении с существующими отечественными решениями он отличается повышенным КПД за счет добавления лития к гелиевому плазменному заряду.
![](https://www.techcult.ru/content/2024/14546/rossijskie-uchenye-delayut-uspehi-v-euv-litografii.jpg)
Читайте также
-
02.12.2024 09:09:00 | iXBT.com
02.12.2024 08:56:30 | TechCult.ru
02.12.2024 08:54:00 | iXBT.com
02.12.2024 08:22:00 | iXBT.com
02.12.2024 08:10:00 | iXBT.com
02.12.2024 08:00:00 | iXBT.com
02.12.2024 07:51:00 | iXBT.com
02.12.2024 07:44:00 | iXBT.com
02.12.2024 07:32:00 | iXBT.com
02.12.2024 07:17:00 | iXBT.com
02.12.2024 07:11:00 | iXBT.com
02.12.2024 06:55:00 | iXBT.com
02.12.2024 06:48:00 | iXBT.com
02.12.2024 06:38:00 | iXBT.com
02.12.2024 06:32:00 | iXBT.com
02.12.2024 06:14:00 | iXBT.com
02.12.2024 06:03:00 | iXBT.com
02.12.2024 05:53:00 | iXBT.com
02.12.2024 05:38:00 | iXBT.com
02.12.2024 05:17:00 | iXBT.com
02.12.2024 02:01:39 | Ведомости
02.12.2024 02:00:00 | Ведомости
01.12.2024 23:55:00 | iXBT.com
01.12.2024 23:27:00 | iXBT.com
01.12.2024 23:09:00 | iXBT.com
01.12.2024 23:00:00 | iXBT.com
01.12.2024 22:47:00 | iXBT.com
01.12.2024 22:35:00 | iXBT.com
01.12.2024 22:10:00 | iXBT.com
ЛЕНТА
-
06.02.2025 08:45:10 | ferra.ru
06.02.2025 08:34:09 | ferra.ru
06.02.2025 08:15:55 | ferra.ru
06.02.2025 08:08:34 | ferra.ru
06.02.2025 08:01:25 | vc.ru
06.02.2025 07:59:07 | ferra.ru
06.02.2025 07:53:07 | ferra.ru
06.02.2025 07:23:05 | ferra.ru
06.02.2025 07:15:04 | ferra.ru
06.02.2025 07:08:04 | ferra.ru
06.02.2025 06:45:52 | ferra.ru
06.02.2025 06:00:59 | ferra.ru
06.02.2025 05:15:49 | ferra.ru
06.02.2025 05:15:03 | ferra.ru
06.02.2025 01:45:00 | Woman.ru
06.02.2025 01:30:12 | ferra.ru
ПИШИТЕ
Техническая поддержка проекта ВсеТут